青年创业楷模—第四代晶体人潜心科研，第一代高功率连续波深紫外激光器面世！

芯片作为我国尖端技术领域无数科研人员不断攻坚的技术难题，一直以来深受国家重视，也是各类科研院所大力支持的项目。而晶圆质检作为芯片生产数百道工序中每一步之间不可或缺的流程环节，有着不容置疑的重要性和难以估量的价值。而2022年8月拜登签署芯片法案后，晶圆质检领域更是受到了极大重创，技术封锁让我国芯片生产厂商苦不堪言。

山东大学慧光检微创业团队便立志潜心钻研适配晶圆质检的高功率连续波深紫外激光器，想要通过产品研发形成一条由我国自主控制的晶圆检测通路。高功率连续波深紫外激光器兼具了高功率与连续波的特质，一方面有着超高分辨率和赶超国际领先水平的功率突破，另一方面也满足连续波特质，不会如脉冲激光器对晶圆造成损伤。可以说，高功率连续波深紫外激光器为晶圆质检提供了优质且效益极佳的选择，在未来将有望实现晶圆检测领域国产产品全面替代国际产品的进程，真正摆脱国外在该领域的技术封锁。

目前，第一代高功率连续波深紫外激光器已经有样机产出面世，并将在后续陆续投入大批量生产。同时，团队表示将在激光器产业中继续深耕，科研组通过新技术研发和改进，对产品进行迭代升级，后续将突破2W功率并推出二代产品以实现在高功率性能上做到世界绝对领先，以抢占国内和国际技术高地，打破国际上对于芯片制造和晶圆质检产业的全方位技术封锁，为我国高科技领域提供坚实的基础，作为大国重器和尖端技术制造中小而精的核心技术，不断攻坚克难，实现突破。

团队科研人员进行产品测试研发

慧光检微团队以“智能驱动，芯引未来”为团队口号和目标，联合本硕博，集合物理、经济、管理等多专业人才，致力于推动高功率连续波深紫外激光器的实现国产自主生产，聚焦中国“芯”，积极呼应地方发展和产业需求。带队攻坚激光器核心器件研发的团队负责人张首焱动情说到：作为一名青年博士代表，这已经是自己从事物理学科深造和学习的第七年，为国家贡献自己的科技成果一直是自己的动力和目标，慧光检微团队的创立和组建是实现自己科技报国梦的最好途径。作为第四代晶体人，自己也打算在该领域继续深耕，继续研发出服务国家战略需求的技术、产品。